2020年了，日韓半導(dǎo)體之爭(zhēng)還在繼續(xù)，雖然2019年12月日本宣布將放開(kāi)對(duì)韓半導(dǎo)體出口限制，但后續(xù)日本依然可以再加強(qiáng)限制，就在這個(gè)節(jié)骨眼上，韓國(guó)自研氟化氫卻迎來(lái)了突破。
韓國(guó)產(chǎn)業(yè)通商資源部1月2日發(fā)布消息稱(chēng)，韓國(guó)化工企業(yè)已確立能以高純度大量生產(chǎn)氟化氫的制造技術(shù)。據(jù)透露，韓國(guó)化學(xué)企業(yè)“SoulBrain”新設(shè)和擴(kuò)建了制造工廠，可將液體氟化氫的雜質(zhì)減少至“一萬(wàn)億分之一”，這一純度已經(jīng)可以用于要求極高純度的半導(dǎo)體制造。
不過(guò)韓國(guó)沒(méi)有透露具體產(chǎn)能，但韓媒認(rèn)為，生產(chǎn)規(guī)模將滿足韓國(guó)國(guó)內(nèi)70-80%左右的需求，而剩下的份額將由進(jìn)口補(bǔ)充。日本限制對(duì)韓出口半導(dǎo)體材料的影響不可謂不大，數(shù)據(jù)顯示，2019年8月日本氟化氫向韓國(guó)的出口數(shù)量和金額均為零，到了9月份情況也沒(méi)有改善，數(shù)量?jī)H為100公斤，而2018年同期的出口量超過(guò)3000噸，出口額同比銳減99.4%。
日本限制力度如此之大，韓國(guó)半導(dǎo)體企業(yè)當(dāng)時(shí)差點(diǎn)就要面臨無(wú)“氟化氫”可用的尷尬局面，于是韓國(guó)開(kāi)始轉(zhuǎn)向中國(guó)尋求氟化氫的進(jìn)口。據(jù)悉，目前全球電子級(jí)氫氟酸年產(chǎn)能約20萬(wàn)噸左右，其中中國(guó)年產(chǎn)能為9萬(wàn)噸，比日本6萬(wàn)噸還高，而國(guó)內(nèi)有能力生產(chǎn)半導(dǎo)體所用氫氟酸的企業(yè)有三四家，其中已投產(chǎn)的主要是多氟多和濱化股份。
雖然后來(lái)日本放開(kāi)了限制，但用于高端晶圓刻蝕的高純電子級(jí)氫氟酸是半導(dǎo)體生產(chǎn)關(guān)鍵材料之一，通常供貨認(rèn)證周期很長(zhǎng)，至少需要1至2年，確定供應(yīng)商后則很難替換。
多氟多和濱化股份也透露，它們已與多家韓國(guó)客戶(hù)形成穩(wěn)定供貨關(guān)系，也正式進(jìn)入了下游客戶(hù)的供應(yīng)商體系，不會(huì)由于日本重啟供應(yīng)而受到影響。所以即使韓國(guó)限制已經(jīng)能夠掌握大量生產(chǎn)高純度氫氟酸的技術(shù)，但是從投產(chǎn)、試驗(yàn)到正式使用還有一段不短的時(shí)間，韓國(guó)依然需要從中國(guó)進(jìn)口。
