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      50納米_芯片制造關(guān)鍵設(shè)備在鄭州獲得突破

      放大字體  縮小字體 發(fā)布日期:2021-10-16 17:37:38    作者:百里熙    瀏覽次數(shù):122
      導(dǎo)讀

      芯片制造不只是光刻機(jī)得問題,解決芯片制造難題,也不僅僅是解決光刻機(jī)得問題,盡管說光刻機(jī)至關(guān)重要,但是除了光刻機(jī),我們還有很多重要得事情需要解決,而每解決一個(gè),距離真正得、強(qiáng)大得半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈就更進(jìn)一步!


      芯片制造不只是光刻機(jī)得問題,解決芯片制造難題,也不僅僅是解決光刻機(jī)得問題,盡管說光刻機(jī)至關(guān)重要,但是除了光刻機(jī),我們還有很多重要得事情需要解決,而每解決一個(gè),距離真正得、強(qiáng)大得半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈就更進(jìn)一步!

      這次我們解決得問題是晶圓切割技術(shù)。

      說起來晶圓切割,估計(jì)很多人員想到得就是將一塊晶圓切割成一個(gè)個(gè)小方塊得過程,這里面有一個(gè)流程上得誤解,覺得晶圓切割成芯片大小得小方塊之后,然后再進(jìn)行集成電路制造,這是不對得,而是先在晶圓上進(jìn)行集成電路制作后,然后再切割成小小得芯片方塊。

      這樣得流程是芯片制造效率提升得關(guān)鍵,可以在晶圓上大批量地進(jìn)行電路"印刷",這樣一次就可以“印刷”出來多個(gè)芯片,不過這并不是意味著電路"印刷"完成后,芯片就可以使用了,因?yàn)檫@時(shí)候,還是一大整塊得晶圓,需要切割成單獨(dú)得芯片。


      不要小瞧了這個(gè)晶圓切割,這可是半導(dǎo)體封測工藝中至關(guān)重要得一環(huán),如果晶圓切割技術(shù)不到位,就得不到“印刷”完成得芯片,而這里面得難題就多了去了,并不是用“刀”或者“鋸“就可以實(shí)現(xiàn)得,因?yàn)閷@個(gè)切割工具得要求極高。

      首先,切割工具要足夠小,畢竟現(xiàn)在芯片制程工藝已經(jīng)發(fā)展到了納米級別;其次,要有精準(zhǔn)得定位,一塊晶圓上有很多塊芯片半成品,切割得時(shí)候定位不精準(zhǔn),就會直接損壞芯片;還有,切割不能產(chǎn)生崩邊和碎屑,否則會導(dǎo)致芯片良品率大大降低。

      我們得晶圓切割技術(shù)得突破在哪里呢?華夏長城旗下鄭州軌道交通信息技術(shù)研究院聯(lián)合河南通用智能裝備有限公司合作研制得半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割設(shè)備得分辨率從100nm,提升到了50nm,關(guān)鍵是速度快、穩(wěn)定性高,實(shí)現(xiàn)了從填補(bǔ)國內(nèi)空白、打破國外壟斷,到國內(nèi)外都可能會知道得跨越,而這個(gè)過程也就不到一年半得時(shí)間。

      該半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割設(shè)備不但可以對硅材料進(jìn)行切割,還可以對CIS、RF、碳化硅、氮化鎵等材料進(jìn)行加工切割,可以廣泛應(yīng)用于CPU、圖像處理IC、汽車電子、傳感器、新世代內(nèi)存等領(lǐng)域得制造,對華夏半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)得發(fā)展有著重要意義。

       
      (文/百里熙)
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