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      深圳市威固特超聲波科技開發有限公司

      超聲波清洗機、純水機、冷水機

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      VGT-907FTA太陽能電池硅片超聲波清洗機-威固特

      產品價格詢價

      產品品牌深圳市威固特超聲波科技開發有限公司

      最小起訂≥1 套

      供貨總量2 套

      瀏覽次數189

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      更新日期2021-09-04 19:55

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      聯 系  人:唐先生(先生) 經理 

      聯系固話:0755-28035588

      聯系地址:深圳市龍華新區大浪街道華昌路鴻源工業區E棟一樓

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      商品信息

      基本參數

      品牌:

      深圳市威固特超聲波科技開發有限公司

      所在地:

      廣東 深圳市

      起訂:

      ≥1 套

      供貨總量:

      2 套

      有效期至:

      長期有效
      詳細說明

      型號:VGT-907FTA

      產品特點:

      1.人機界面,PLC控制;

      2.采用單臂機械手,可靈活調節清洗工藝;

      3.各清洗槽設置拋動機構,保證清洗效果;

      4.采用超聲波清洗、鼓所沖洗等工藝;

      5.采用28KHZ、40KHZ多頻段超聲波;

      6.全封閉機構,外形美觀。

      7.設備內部安裝有維修照明燈,方便維修。

      8.上下料有專用手推車,方便員工操作

      應用范圍:

      1、爐前清洗:擴散前清洗。

      2、光刻后清洗:除去光刻膠。

      3氧化前自動清洗:氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。

      4、拋光后自動清洗:除去切、磨、拋的沾污。

      5、外延前清洗:除去埋層擴散后的SiO2及表面污物。

      6合金前、表面鈍化前清洗:除去鋁布線后,表面雜質及光膠殘渣

      7離子注入后的清洗:除去光刻膠,SiO2

      8、擴散預淀積后清洗:除去預淀積時的BSGPSG。

      9、外延前清洗:除去埋層擴散后的SiO2及表面污物。

      10、CVD后清洗:除去CVD過程中的顆粒。

      技術參數:

      超聲波功率:3.5KW

      超聲波頻率:28,40,60KHZ

      換能器數量:7

      電源電壓:220V/380V

      技術優勢:

      適用于2”-8”基片的半導體清洗工藝中,有效去除硅/晶片表面的有機物、顆粒、金屬雜質、自然氧化層及石英、塑料等附件器皿的污染物,且不破壞晶片表面特性。根據不同清洗工藝配置相應的清洗單元,各部分有獨立控制,隨意組合。


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